Partnerji

Fakulteta za elektrotehniko

Laboratorij za mikrosenzorske strukture in elektroniko (LMSE) Fakultete za elektrotehniko Univerze v Ljubljani je bil ustanovljen leta 1987 z nalogo izobraževanja in izvajanja aplikativnih raziskav na področju mikrosistemov (MEMS). LMSE nudi raziskave od teoretičnih analiz do razvoja naprednih mikrosenzorjev in mikroaktuatorjev, vključno s podporo pametnih sistemskih rešitev. MEMS procesi vključujejo globinsko in površinsko suho ter mokro izotropno in anizotropno mikroobdelovo, kemijsko in adhezijsko spajanje, mehko litografijo, plazemsko in kemijsko obdelavo površin, tehnologijo Lab-on-chip in še druge pomožne MEMS tehnologije. LMSE ima vzpostavljeno trdno sodelovanje z laboratoriji in industrijskimi partnerji po vsem svetu.